科学最上級

KIST, 값싼 실리콘으로 적외선 감지…광감도 1.8~3배 높였다

KIST、安価なシリコンで赤外線を検出…光感度を1.8〜3倍に

한국과학기술연구원(KIST)은 차세대반도체연구소 양자기술연구단 이인호·박민철 박사 연구팀이 기존 실리콘 반도체 공정과 호환되는 단파장 적외선 이미지센서를 개발했다고 9월 22일 밝혔습니다. 기존 센서는 값비싼 화합물 반도체를 사용해 제조비가 높고 실리콘 공정과의 호환성도 낮았습니다. 연구팀은 금속이 적외선을 흡수할 때 생기는 고에너지 전자 ’핫캐리어’를 활용했습니다. 핫캐리어가 금속과 실리콘 사이 장벽을 넘어 이동하면서 전기 신호를 만드는 원리입니다. 적외선 반사로 검출 성능이 떨어지는 문제는 약 10나노미터 두께의 초박막 구리 전극 위에 비정질 실리콘을 쌓는 반사방지 코팅(QARC)으로 개선했습니다. 그 결과 전극 재료에 따라 광감도가 기존 구조보다 1.8~3배 향상됐고, 실제 단파장 적외선 영상도 구현했으며, 연구 결과는 지난 4월 국제학술지 ’Advanced Science’에 게재됐습니다.

翻訳

韓国科学技術研究院(KIST)は9月22日、次世代半導体研究所量子技術研究団のイ・インホ、パク・ミンチョル両博士の研究チームが、既存のシリコン半導体プロセスと互換性のある短波長赤外線イメージセンサーを開発したと発表しました。既存のセンサーは高価な化合物半導体を使うため製造費が高く、シリコンプロセスとの互換性も低いという課題がありました。研究チームは、金属が赤外線を吸収するときに生じる高エネルギー電子「ホットキャリア」を利用しました。ホットキャリアが金属とシリコンの間の壁を越えて移動し、電気信号をつくる原理です。赤外線の反射で検出性能が落ちる問題は、厚さ約10ナノメートルの極薄の銅電極の上に非晶質シリコンを積む反射防止コーティング(QARC)で改善しました。その結果、電極の材料によって光感度が従来の構造より1.8〜3倍向上し、実際に短波長赤外線の映像も実現しました。研究結果は4月に国際学術誌『Advanced Science』に掲載されました。

単語

  • 호환되다동사 (動詞)互換性がある
  • 단파장명사 (名詞)短波長
  • 적외선명사 (名詞)赤外線
  • 화합물명사 (名詞)化合物
  • 흡수하다동사 (動詞)吸収する
  • 장벽명사 (名詞)障壁、壁
  • 초박막명사 (名詞)極薄膜
  • 광감도명사 (名詞)光感度
  • 구현하다동사 (動詞)実現する

文法ポイント

N과/와 호환되는 NNと互換性のあるN

과/와 が互換の相手を示し、호환되는 が後ろの名詞を修飾します。실리콘 공정과 호환되는 센서 は「シリコンプロセスと互換性のあるセンサー」。技術文では、物自体が動作主にならないため受け身の -되다 が標準です。

例文: 연구팀이 기존 실리콘 반도체 공정과 호환되는 단파장 적외선 이미지센서를 개발했습니다.

研究チームが既存のシリコン半導体プロセスと互換性のある短波長赤外線イメージセンサーを開発しました。

-(으)ㄹ 때 생기는 N〜するときに生じるN

-(으)ㄹ 때 が時点を示し、생기는 がその結果を連体修飾にします。적외선을 흡수할 때 생기는 전자 は「赤外線を吸収するときに生じる電子」。科学記事では、生成条件によって用語を定義するのにこの形を使います。

例文: 연구팀은 금속이 적외선을 흡수할 때 생기는 고에너지 전자 '핫캐리어'를 활용했습니다.

研究チームは、金属が赤外線を吸収するときに生じる高エネルギー電子「ホットキャリア」を活用しました。

N에 따라Nによって、Nに応じて

에 따라 は結果が何かに応じて変わることを示します。전극 재료에 따라 1.8~3배 は「電極の材料によって1.8〜3倍」。一つの数字を範囲に変える表現で、出所を示す 에 따르면 とは別物です。

例文: 그 결과 전극 재료에 따라 광감도가 기존 구조보다 1.8~3배 향상됐고, 실제 단파장 적외선 영상도 구현했습니다.

その結果、電極の材料によって光感度が従来の構造より1.8〜3倍向上し、実際に短波長赤外線の映像も実現しました。

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